MEMS气体传感器的特点及参数

产品介绍：

精讯畅通的MEMS气体传感器所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料，利用MEMS工艺在SI基衬底上制作微热板。当环境空气中有被检测气体存在时，MEMS气体传感器的电导率就会发生变化。被测气体的浓度越高，MEMS传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。

产品特点：

1、微型化设计

MEMS传感器的体积小、谐振频率高、功耗低、响应时间短，表面体积比高可以提高表面传感器的敏感程度。

2、高度集成

可把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体，形成微传感器阵列、微执行器阵列。

3、高/低温工作适应性好

产品功耗低，工作时基本没有热辐射，不影响周边温度湿度检测。

产品参数：

回路电压Vc：≤24V DC

加热电压VH：2.8V士0.1V AVorDC

负载电阻RL：可调

加热电阻RH：80Ω土20Ω(室温)

加热功耗PH：≤80mW

敏感体电阻Rs：1KΩ~30KΩ

灵敏度S：RO/RS≥2

浓度斜率a：≤0.9

温度：20°C士2°C