MEMS二氧化氮气体传感器

产品介绍：

MEMS二氧化氮气体传感器是利用微电子和微机械加工技术来检测二氧化氮气体浓度的气体传感器。MEMS二氧化氮气体传感器采用在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料作为气敏材料，对二氧化氮气体的灵敏度高。该二氧化氮传感器具有体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高、技术附加值高等特点。

产品特点：

1、微型化设计

MEMS气体传感器的体积小、谐振频率高、功耗低、响应时间短，表面体积比高可以提高表面传感器的敏感程度。

2、高度集成

可把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体，形成微传感器阵列、微执行器阵列。

3、高/低温工作适应性好

MEMS气体传感器在工作时基本没有热辐射，不影响周边温度湿度检测。