MEMS VOC气体传感器根据MEMS工艺制作微热板,所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料,对VOC气体的灵敏度高。当气体传感器所处存在VOC气体环境中时,传感器的电导率随空气中被检测气体的浓度而发生改变。VOC气体的浓度越高,MEMS气体传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。
乙醇(C2H5OH): 0– 500ppm
氢气(H2):0-5000ppm
VOC:0-100ppm
可燃气体:0-10000ppm
氨气:0-300ppm
一氧化碳:0-500ppm
低功耗
高灵敏度
结构坚固
MEMS工艺
简单的驱动电路
快速的响应恢复特性
适用于室内空气质量监测 、手机电脑等消费类子产品应用检测空气质量,也适用于气体检测仪、室内烟雾报警等。
1.预热时间
气体传感器需要时间达到内部的化学平衡所以需要一定的预热时间。一般来说,传感器在比较高的温度下会更快的达到平衡,所以可以在最初开机的几十秒,可以给传感器更高的电压来预热。如C2H50H传感器一般工作在50mW,可以在最初30秒内利用80mW来加热。总的来讲,预热时间越长则传感器精度越好。
2.传感器标定
对于绝对浓度测量,很多因素会影响到传感器的精度如传感器之间的基准电阻差异,灵敏度差异,温度,湿度,干扰气体,老化时间等,因此需要定期标定。对于相对测量则不需要标定。因为传感器的特性曲线是非线性的,所以推荐在全量程内进行多点标定并考虑温度和湿度的影响。当标定数据得到后,可以利用多项式或线性拟合来对数据进行整理。
3. 传感器的长期稳定性
随着工作时间增加,加热电路电阻会增加,可以通过一定的电路来解决。试验数据表明在 40mW 供电条件下,6000 小时后电阻没有变化;80mW 供电条件下,加热电阻增加了 30%。在加热电路上串联一个电阻,该电阻值对功率的影响在 2%以下,通过该方法可以解决问题。当然也可以使用等功率电路来剔除影响。
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