MEMSVOC气体传感器根据MEMS工艺制作微热板,所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料,对VOC气体的灵敏度高。MEMSVOC气体传感器是主要用于在空气环境中检测VOC浓度范围在0-100ppm的气体传感器。该VOC传感器使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与VOC气体浓度相对应的输出信号。具有体积小、谐振频率高、功耗低、响应时间短等特点。
1、微型化设计
产品体积小、谐振频率高、功耗低、响应时间短,表面体积比高可以提高表面
传感器的敏感程度。
2、高度集成
可把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体,形成微传感器阵列、微执行器阵列。
3、高/低温工作适应性好
产品功耗低,工作时基本没有热辐射,不影响周边温度湿度检测。
检测气体:VOC
VOC测量范围:0-100ppm
回路电压Vc:≤24V DC
加热电压VH:2.8V士0.1V AVorDC
负载电阻RL:可调
加热电阻RH:80Ω土20Ω(室温)
加热功耗PH:≤80mW
敏感体电阻Rs:1KΩ~30KΩ
灵敏度S:RO/RS≥2
浓度斜率a:≤0.9
温度:20°C士2°C
湿度:55%RH土5%RH
标准测试电路:VH:2.8V士0.1V,VC:5.0V士0.1V