MEMS氨气气体传感器

产品介绍：

MEMS氨气气体传感器是用来监测空气环境中氨气气体浓度在0-300ppm的MEMS气体传感器。MEMS氨气气体传感器采用了在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料作为气敏材料。该氨气传感器利用MEMS工艺在SI基衬底上制作微热板。具有尺寸小、功耗低、响应速度快、适应性好、使用寿命长久等特点。

产品特点：

1、微型化设计

产品体积小、谐振频率高、功耗低、响应时间短，表面体积比高可以提高表面
传感器的敏感程度。

2、高度集成

可把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体，形成微传感器阵列、微执行器阵列。

3、高/低温工作适应性好

产品功耗低，工作时基本没有热辐射，不影响周边温度湿度检测。

产品参数：

回路电压Vc：≤24V DC

加热电压VH：2.8V士0.1V AVorDC

负载电阻RL：可调

加热电阻RH：80Ω土20Ω(室温)

加热功耗PH：≤80mW

敏感体电阻Rs：1KΩ~30KΩ

灵敏度S：RO/RS≥2

浓度斜率a：≤0.9

温度：20°C士2°C

湿度：55%RH土5%RH

标准测试电路：VH:2.8V士0.1V，VC:5.0V士0.1V