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MEMS气体传感器

MEMS氟利昂气体传感器

精讯畅通    2022-03-21

产品介绍:

MEMS氟利昂气体传感器是精讯畅通利用MEMS工艺而打造的氟利昂传感器。MEMS氟利昂气体传感器具有MEMS工艺的微热板,采用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。当检测环境中有氟利昂气体存在时,MEMS氟利昂传感器的电导率也会发生变化。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与氟利昂浓度相对应的输出信号。

产品参数:

检测气体:氟利昂

氟利昂测量范围:10-1000ppm

氟利昂测量灵敏度S:RO/RS≥2

回路电压Vc:≤24V DC

加热电压VH:2.8V士0.1V AVorDC

负载电阻RL:可调

加热电阻RH:80Ω土20Ω(室温)

加热功耗PH:≤80mW

敏感体电阻Rs:1KΩ~30KΩ

浓度斜率a:≤0.9

温度:20°C士2°C

湿度:55%RH土5%RH

标准测试电路:VH:2.8V士0.1V,VC:5.0V士0.1V

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