MEMS硫化氢气体传感器

产品介绍：

MEMS硫化氢气体传感器是采用了金属氧化物半导体材料，主要用于检测环境中硫化氢气体浓度的H2S传感器。MEMS硫化氢气体传感器的SI基衬底.上的微热板是利用MEMS工艺制作的。该硫化氢传感器使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与H2S气体浓度相对应的输出信号。具有响应速度快、加工紧密、灵敏度高、体积小等优点。

产品参数：

检测气体：硫化氢

硫化氢测量范围：0-3ppm

回路电压Vc：≤24V DC

加热电压VH：2.8V士0.1V AVorDC

负载电阻RL：可调

加热电阻RH：80Ω土20Ω(室温)

加热功耗PH：≤80mW

敏感体电阻Rs：1KΩ~30KΩ

灵敏度S：RO/RS≥2

浓度斜率a：≤0.9

温度：20°C士2°C

湿度：55%RH土5%RH

标准测试电路：VH:2.8V士0.1V，VC:5.0V士0.1V