半导体气体传感器是一种能够检测气体浓度的传感器,其工作原理基于半导体材料的特性。气体传感器的优点包括高灵敏度、高准确度、高精度、可靠性高、寿命长、易于维护等。本文将详细介绍半导体气体传感器的工作原理及优点。
一、半导体气体传感器的工作原理
半导体气体传感器的工作原理基于半导体材料的特性。半导体材料具有导电性、热稳定性和光稳定性等特性,当气体分子进入半导体材料中时,会与半导体材料中的杂质结合,形成复合物。复合物具有导电性,可以导电通道,通过导电通道可以实现气体分子的检测。
当气体分子进入传感器的气相空间时,与半导体材料中的杂质结合,形成复合物。复合物会阻碍半导体材料的导电性,使得半导体材料中的电子被束缚,形成空穴。空穴在传感器中移动时,会与半导体材料中的电子发生电子空穴对,产生光子。光子的能量与气体分子的光子能量相等时,气体分子的振动能量会发生变化,从而可以检测气体的浓度。
半导体气体传感器通常由p型半导体和n型半导体组成。p型半导体具有高导电性,n型半导体具有低导电性。当气体分子进入传感器的气相空间时,气体分子与半导体材料中的杂质结合,形成复合物。复合物会在p型半导体和n型半导体中产生空穴和电子。
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