MEMS CH4可燃气体传感器利用MEMS工艺的Si基微热板和在洁净空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料组成。当环境空气中有被检测气体存在时,传感器的电导率发生变化。该气体的浓度越高,传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。
MEMS CH4可燃气体传感器采用MEMS工艺,结构坚固,对可燃气体灵敏度高;具有尺寸小、功耗低、灵敏度高、响应恢复快、驱动电路简单、稳定性好、寿命长等特点。
MEMS CH4可燃气体传感器适用于手机、电脑等消费类电子产品应用检测燃气泄漏;也适用于用于家庭、商业用所的可燃气体泄漏监测装置、气体检漏仪、防火/安全探测系统。