臭氧半导体气体传感器采用了利用固态金属氧化物类的气敏半导体材料而制成的敏感元件。臭氧半导体气体传感器主要用于臭氧的气体浓度检测。臭氧传感器对臭氧的灵敏度高,对氯气、二氧化氮等强氧化性气体也有一定的灵敏度。具有成本低廉、制造简单、灵敏度高、响应速度快、寿命长、长期的工作稳定性、简单的测试电路等特点。臭氧传感器广泛适用于家庭、大气环境中臭氧浓度的探测。
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