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MEMS气体传感器

MEMS丙烷气体传感器

精讯畅通    2022-03-23

产品介绍:

MEMS丙烷气体传感器是精讯畅通为了利用MEMS工艺来检测丙烷气体浓度而研发的丙烷传感器。MEMS丙烷气体传感器采用MEMS工艺制作SI基衬底上的制热版,采用金属氧化物半导体材料来作为传感器的气敏材料。该气体传感器具有体积小、谐振频率高、功耗低、响应时间短等特点,表面体积比高可以提高表面传感器的敏感程度。

产品参数:

检测气体:丙烷

丙烷测量范围:0-10000ppm

丙烷测量灵敏度S:RO/RS≥2

丙烷浓度斜率a:≤0.9

回路电压Vc:≤24V DC

加热电压VH:2.8士0.1V AVorDC

负载电阻RL:可调

加热电阻RH:80Ω土20Ω(室温)

加热功耗PH:≤80mW

敏感体电阻Rs:1KΩ~30KΩ

温度:20°C士2°C

湿度:55%RH土5%RH

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